Пассивация
Установка скалывания и нанесения покрытий в условиях сверхвысокого вакуума позволяет осуществлять скол (Cleaving), пассивацию (Passivation) и нанесение оптических покрытий (Optical Coating) на торцы мощных лазерных линеек в условиях сверхвысокого вакуума. Скол лазерных диодных линеек в среде сверхвысокого вакуума обеспечивает получение бездефектных и чистых поверхностей скола монокристалла. Сколотые линейки перемещаются в камеру нанесения покрытий через кольцевую транспортную камеру (Cluster Tool) для осаждения пассивирующих или оптических плёнок. Весь процесс выполняется в условиях сверхвысокого вакуума лучше 2×10⁻¹⁰ торр, что обеспечивает высокое качество изготовления приборов.
Плазма
FERMI BL-1100S — это специально разработанный высокояркий мультигазовый источник вакуумного ультрафиолетового излучения, в состав которого входят дифференциальная камера, монохроматическая камера и вакуумный затвор, отделяющий фокусирующий капилляр от дифференциальной камеры. Устройство позволяет работать с несколькими рабочими газами (He, Xe), сохраняя малый размер пятна засветки и незначительное повышение парциального давления газа.
Исследования
Установка Sphere 300 преимущественно использует сферическую камеру из нержавеющей стали 316, изготовленную методом аргонодуговой сварки, диаметром 300 мм, и позволяет разместить до 5 испарительных источников. Ростовая камера Sphere 300 оснащена несколькими фланцевыми портами с полным набором функций и обеспечивает возможность in-situ характеризации методом ДБЭ (RHEED). Система предназначена для выращивания образцов небольшого размера (с флаг-образными держателями) и идеально подходит для научных исследователей, работающих над получением высококачественных тонких плёнок.
